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焦检测系统相比较显微镜及千分尺检测法，该方法利用显微镜中成像的清晰度变化代替机械法检测，具有较高的测量精度；但是检测系统操作复杂，小尺寸微透镜阵列的测量过程中寻找其焦点和顶点位置较困难，测量效率不能满足相应的要求。3，光强计法国内外一些实验室利用光强计法测量微透镜阵列的焦距，如图3-1所示，利用微透镜阵列焦面附近的光强变化确定最终的焦点位置。图3-1 光强计测量微透镜阵列焦距光强计测量微透镜阵列的焦距时，其检测系统由光源及准直系统、分光镜、被测微透镜阵列、反射镜、成像物镜、孔径光阑和光强探测器组成。经过准直的平行光经分光镜后通过微透镜阵列成像，当在微透镜阵列的焦距放置反射镜时，光线以光轴为对称 ...
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