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磁透射软x射线显微术的基本装置全视场软x射线显微镜的光学装置原理与传统显微镜相似。它由光源、聚光镜、物镜和检测器组成。主要的区别是聚光镜和物镜是菲涅耳带片。终端站xm1在高ji光源处的x射线光学设置如图1所示。图1它遵循了Schmahl等人开发的开创性x射线显微镜设计。xm1使用从弯曲磁铁发出的软X射线。在通过一个平面反射镜后,光子被镀上镍以抑制更高的能量,照射到一个中央有一个挡板的聚光带板(CZP)。该CZP提供了样品的部分相干空心锥照明,并与针孔位于样品附近的组合,作为线性单色仪,具有典型的单色性约λ/Δλ = 500。因此,在光子能量为700 eV时,光谱分辨率约为1.3 eV。XM-1 ...
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