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光热反射法的研究背景介绍薄膜的热处理是现在电子技术发展领域中遇到的重要问题,一定程度地影响着科技技术的发展,而光热反射法是能够测量亚微米尺度的薄膜热物性优选方法。光热反射法中时域热反射TDTR和频域热反射FDTR尤为收到人们的关注,在这里介绍TDTR和FDTR技术的研究背景。将泵浦激光束聚焦在样品表面,形成一个高斯形状的热源,而探针激光束聚焦在同一点,测量反射率的变化。对于微小的温度变化,反射率的变化与附加屈光度系数的表面温度的变化成正比。样品通常涂有一层较薄的金属传感层(如100铝膜或金膜)。TDTR和FDTR是非接触式光泵-探针技术,其中一束光(泵浦光)作为热源,而第二束光(探测光)通过表 ...
针对于小尺度薄膜样品三维热导率测量的光热反射法简介小尺度薄膜样品的热导率(包括纵向热导、面内和界面热导)难以测量,特别是对于低导电性样品和各向异性材料。而基于光学的热反射法的发展使得小尺寸样品的热导率测量变得容易。如今发展较为成熟的光热反射技术有基于超快泵浦探测的时域热反射法(TDTR)和基于连续波激光的频域热反射法(FDTR)。此外,还有新开发的稳态温升热反射法(SSTR)和空间域热反射法(SDTR)等。这些热反射法的特点是采用一束经调制的激光周期性加热样品,采用另一束激光作为探测光,通过被加热样品表面的反射率随温度的线性变化来测量样品表面的局部温度变化,从而确定样品相关的热物性(例如图1中 ...
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